以氦為示漏氣體的真空質譜檢漏儀，泄漏檢測設備是一種真空檢漏中的高靈敏度、普遍應用的檢漏裝置，由真空系統、離子源、電子線路、接收器、分析器及其它電氣部分所構成。

　　目前，泄漏檢測設備裝置多是磁偏轉型的。本文將以諾益180°的磁偏轉型泄漏檢測設備儀為例進行其主要參數的簡述。

　　1、清除時間、反應時間的測定

　　清除時間與反應時間可以表征檢漏儀的動態特性。通常是規定泄漏檢測設備的清除時間與反應時間要小于3s。清除時間與反應時間與檢漏裝置的真空系統的抽速、體積以及流導等抽氣系統參數所密切相關，也受離子流放大器等電子學線路的時間常數所影響。若檢漏裝置中含有能吸收或放出氮氣的零件或材料，也會影響清除時間與反應時間的測定。當輸出指示與漏率為非線性關系時，會導致清除時間與反應時間的測定出現誤差。

　　2、工作真空、極限真空與節流閥處的抽速

　　在泄漏檢測設備的使用和選擇時，需留意極限真空、工作真空及節流閥的抽速，均為裝置的重要參數。

　　在檢漏時，被檢設備有可能存在漏氣，也會有出氣，若不采用輔助真空抽氣系統，則被檢設備的漏氣與虛漏的總氣流量就要全部通過泄漏檢測設備儀的檢測。

　　越高的工作壓力，在節流閥處會有越大的抽速，檢漏裝置就越能在惡劣條件下適應，而后進行檢漏，這對大真空器件的檢漏尤其需要重視。

　　比較小的真空器件，只適用于去氣較好的、小型的裝置檢漏。裝置的工作壓力不應設計太低，因為在檢漏裝置運轉時，要達到較低的工作壓力是需要話比較長的時間的。一般工作壓力選擇在10Pa-10Pa的壓力范圍內。

　　在利用泄漏檢測設備進行真空鍍膜檢漏時，若質譜室中壓力過低，需要利用針閥將氣量放入，使質譜室的壓力達到工作壓力值。放入氣量越大，裝置此氣體濃度以及儀器靈敏度就越高，越有利于檢漏。進行很大的出氣和漏氣的被檢真空室的檢漏時，節流閥抽速與工作壓力也是越大越好。因為此時需通過輔助真空系統來起分流作用，使其檢漏靈敏度降低，用以幫助儀器抽氣。但節流閥抽速與工作壓力越大，輔助真空裝置的分流作用則會越小，也會降低一點檢漏的靈敏度。